基于过膜压强测试的薄膜力学强度表征方法及装置
授权
摘要
本发明公开了基于过膜压强测试的薄膜力学强度表征方法，是以多孔材料为载体，使待测薄膜承载于载体的第一表面上，将承载有待测薄膜的载体置于一密闭通道中，于密闭通道靠近第二表面的一侧通入流体，检测流体通过载体并破坏待测薄膜时的过膜压强。本发明还提供了原位薄膜力学强度表征方法及装置。本发明针对力学强度较低的薄膜难以采用常规方式检测的问题，利用限域空间压力测试的方式，能够实现较低力学强度薄膜的检测，测试方法可靠，稳定性强，得到的数值具有可比性。
基本信息
专利标题 ：
基于过膜压强测试的薄膜力学强度表征方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113218772A
申请号 ：
CN202110319895.5
公开（公告）日 ：
2021-08-06
申请日 ：
2021-03-25
授权号 ：
CN113218772B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
侯旭雷津美樊漪
申请人 ：
厦门大学
申请人地址 ：
福建省厦门市思明南路422号
代理机构 ：
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 ：
张松亭
优先权 ：
CN202110319895.5
主分类号 ：
G01N3/12
IPC分类号 ：
G01N3/12 G01N3/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/12
•••压力试验
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-08-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 3/12
申请日 : 20210325
申请日 : 20210325
2021-08-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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