多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法
授权
摘要
本发明公开了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法，包括凸模组件和凹模组件，凸模组件包括凸模框架，凸模框架上安装有凸模压板，凸模框架的左右两侧安装有滑动组件，凸模框架的内腔还安装有丝杆，且丝杆与滑动组件相配合安装，丝杆的外壁安装有手轮，凸模压板的外侧壁安装有多个销轴，销轴的外部配合安装有蝶形螺母，凸模压板的内侧壁安装有滑片，凹模组件包括凹模框架和活动支架组件，活动支架组件与滑片相配合卡接安装。本发明解决了钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配的难题。
基本信息
专利标题 ：
多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112945054A
申请号 ：
CN202110349321.2
公开（公告）日 ：
2021-06-11
申请日 ：
2021-03-31
授权号 ：
CN112945054B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
王国铃张云天张强
申请人 ：
江苏东方瑞吉能源装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市新区临江西路60号
代理机构 ：
南京创略知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
柳强
优先权 ：
CN202110349321.2
主分类号 ：
G01B5/00
IPC分类号 ：
G01B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-07-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/00
申请日 : 20210331
申请日 : 20210331
2021-06-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
