一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置
授权
摘要
本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置,晶圆良率问题数据库为预先建立的,其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据,该方法包括:在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图;提取第二晶圆图的第一失效特征,据以确定第二晶圆图的第一失效类别;根据第一失效类别和多个失效类别的失效特征的相似度,确定多个失效类别中的若干第二失效类别、以及第一失效类别与第二失效类别的失效特征匹配数量;根据第一失效类别和第二失效类别的指证性数据的相似度,确定第一失效类别与各第二失效类别的指证性数据匹配数量;根据失效特征和指证性数据匹配数量,对若干第二失效类别进行第一排序并展示。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112988792A
申请号 :
CN202110407543.5
公开(公告)日 :
2021-06-18
申请日 :
2021-04-15
授权号 :
CN112988792B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
徐文丞易丛文林孟喆戴静安
申请人 :
筏渡(上海)科技有限公司
申请人地址 :
上海市杨浦区长阳路1687号东1223幢(A楼)三层A307
代理机构 :
北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周良玉
优先权 :
CN202110407543.5
主分类号 :
G06F16/245
IPC分类号 :
G06F16/245 G06F16/28 G06F16/248
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06F
电数字数据处理
G06F16/245
•••查询处理
法律状态
2022-05-31 :
授权
2021-07-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06F 16/245
申请日 : 20210415
申请日 : 20210415
2021-06-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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