本发明属于太赫兹亚波长结构传感技术领域，提供了一种基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法。其中，基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件包括衬底和波导传感单元，波导传感单元设置在衬底上，波导传感单元包括波导、矩形谐振腔及金属墙，所述矩形谐振腔以垂直于波导的方向直接连接在波导一侧，所述金属墙设置在矩形谐振腔一侧设定距离处的波导介质中，所述金属墙的中心设有孔径；所述矩形谐振腔的方向与电场偏振方向保持平行，波导的输入端用于接收太赫兹波，以使得太赫兹波在传输过程中满足共振条件时，产生Fano共振。其采用金属‑介质‑金属波导耦合谐振腔结构实现了尖锐的Fano共振、高Q因子、高灵敏度的折射率传感应用。