一种双真空泵体抛光液回收装置及方法
授权
摘要
本发明适用于及光学元件加工领域技术领域，提供了一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收，提高抛光液的稳定工作状态。
基本信息
专利标题 ：
一种双真空泵体抛光液回收装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113231964A
申请号 ：
CN202110563181.9
公开（公告）日 ：
2021-08-10
申请日 ：
2021-05-21
授权号 ：
CN113231964B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
侯晶刘世伟许乔陈贤华张清华蒙晨郑楠李海波王健刘民才
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省成都市武侯区科园1路3号
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李康
优先权 ：
CN202110563181.9
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02 B24B57/00 B24B1/00 B24B29/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2021-08-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 57/02
申请日 : 20210521
申请日 : 20210521
2021-08-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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