一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法
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摘要
本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法,传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层;柔性顶盖设置于柔性衬底上,两者之间形成密封腔体;S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央;两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上,并对称分布在S形加热元件的两侧;吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上;其中,柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构,两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上,并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加速度传感器适用于柔性设备,并具有灵敏度高、响应时间快、功耗低的特点。其制备方法简便,成本低廉,可大规模制备。
基本信息
专利标题 :
一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113325198A
申请号 :
CN202110640448.X
公开(公告)日 :
2021-08-31
申请日 :
2021-06-09
授权号 :
CN113325198B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
聂萌王旭李可
申请人 :
东南大学
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 :
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
吴旭
优先权 :
CN202110640448.X
主分类号 :
G01P15/08
IPC分类号 :
G01P15/08 B41M3/00 B41M1/12 B41M1/28 B41M1/30 B41M5/00 C23C14/34 C23C14/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P15/00
测量加速度;测量减速度;测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-09-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/08
申请日 : 20210609
申请日 : 20210609
2021-08-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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