一种热电堆式高灵敏度柔性加速度传感器及其制备方法
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摘要

本发明公开了一种热电堆式高灵敏度柔性加速度传感器及其制备方法,传感器结构中,柔性顶盖贴合在柔性衬底顶部,两者之间形成密封腔体,密封腔体内填充有空气或惰性气体;两个加热元件沿密封腔体长轴线方向对称固定在密封腔体内的柔性衬底两侧;热电堆固定在密封腔体内的柔性衬底的长轴线上;吸热薄层分别紧密贴附于密封腔体内部的加热元件上,隔热薄层贴合于柔性衬底上的外部引出电极;其中,柔性密封顶盖的顶部内侧面上的长轴线两侧对称设置有热绝缘岛结构,热绝缘岛结构分别分布于热电堆与加热元件之间的上方。本发明结构适用于柔性设备,其具有灵敏度高、响应时间短、低功耗的特点。同时其制备工艺简单,成本低廉,适于大规模制备。

基本信息
专利标题 :
一种热电堆式高灵敏度柔性加速度传感器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113325199A
申请号 :
CN202110640657.4
公开(公告)日 :
2021-08-31
申请日 :
2021-06-09
授权号 :
CN113325199B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
聂萌王旭李可
申请人 :
东南大学
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 :
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
吴旭
优先权 :
CN202110640657.4
主分类号 :
G01P15/08
IPC分类号 :
G01P15/08  C23C14/20  C23C14/34  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P15/00
测量加速度;测量减速度;测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-09-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/08
申请日 : 20210609
2021-08-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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