本发明公开了一种热电堆式高灵敏度柔性加速度传感器及其制备方法，传感器结构中，柔性顶盖贴合在柔性衬底顶部，两者之间形成密封腔体，密封腔体内填充有空气或惰性气体；两个加热元件沿密封腔体长轴线方向对称固定在密封腔体内的柔性衬底两侧；热电堆固定在密封腔体内的柔性衬底的长轴线上；吸热薄层分别紧密贴附于密封腔体内部的加热元件上，隔热薄层贴合于柔性衬底上的外部引出电极；其中，柔性密封顶盖的顶部内侧面上的长轴线两侧对称设置有热绝缘岛结构，热绝缘岛结构分别分布于热电堆与加热元件之间的上方。本发明结构适用于柔性设备，其具有灵敏度高、响应时间短、低功耗的特点。同时其制备工艺简单，成本低廉，适于大规模制备。