本发明提供了一种高灵敏度开环MEMS加速度计传感器结构，各结构部分对称分布；敏感质量体利用多组并联关系的支承梁支承，当受到外部加速度信号输入时，发生微小位移，并引起检测电极电容值变化。通过解调检测电极的电容值得到输入加速度的大小。在正交补偿电极上施加一定电压，能够驱动敏感质量体发生微小旋转，以消除传感器结构加工误差，有利于提高传感器的精度。框架结构上的锚点，能够在敏感期质量体受到过大加速度输入时，物理阻止敏感期质量体发生过大位移，造成结构体损坏和梳齿吸附。本装置减小传感器加工误差，提高了传感器工作的稳定性，支撑牢靠，不再限制并提升了MEMS加速度计的工作特性。