本发明公开光机结构式反射型波束可控微波超表面，应用于波束扫描反射阵天线、焦距可调平面器件领域，针对现有的非线性超表面在不同强度电磁波激励下，不能独立操控超表面中每个单元的电磁响应特性的问题；本发明的光机结构式反射型微波超表面在不同强度的电磁波激励下，超表面中每个单元的非线性响应特性不同，通过对每个单元悬梁臂以及空气间隙的独立设计，进而实时动态操控超表面中每个单元的电磁响应，实现更加灵活的可重构功能，本发明为可调谐、可重构超表面实时动态调控提供了一种新思路；本发明填补了国内外基于电磁能‑结构势能耦合机理的新型非线性可控超表面技术研究空白。