一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法
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摘要
本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法，包括以下步骤：步骤一：籽晶筛选；步骤二：籽晶预处理；步骤三：加工反应腔腔室；步骤四：防止籽晶；步骤五：调节反应气压，调节微波输入功率，激发等离子体；步骤六：调节所述第一升降器和第二升降器的高度；步骤七：调节功率和反应气压；步骤八：进行金刚石沉积；步骤九：关机处理。通过整体的方法控制，保证等离子球的稳定性，避免出现等离子体球上移的现象；反应气体能够在反应气压和功率数值比在2/1‑3/1区间内充分离解，生长的金刚石质量和速率明显提升。
基本信息
专利标题 ：
一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113388885A
申请号 ：
CN202110695623.5
公开（公告）日 ：
2021-09-14
申请日 ：
2021-06-23
授权号 ：
CN113388885B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
李庆利甄西合徐悟生赵丽媛朱逢锐朱逢旭杨春晖
申请人 ：
秦皇岛本征晶体科技有限公司
申请人地址 ：
河北省秦皇岛市经济技术开发区西湖路1号
代理机构 ：
烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙俊业
优先权 ：
CN202110695623.5
主分类号 ：
C30B29/04
IPC分类号 ：
C30B29/04 C30B25/20 C30B25/16 C23C16/511 C23C16/27 C23C16/02
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2021-10-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/04
申请日 : 20210623
申请日 : 20210623
2021-09-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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