一种多波段可调多尺度超材料的制备方法和光谱检测方法
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摘要

本发明公开了一种多波段可调多尺度超材料、制备方法和光谱检测方法。由从下到上依次层叠布置的拉伸层、非拉伸支撑层、金属层、纳米颗粒层构成,拉伸层为聚二甲基硅氧烷层,非拉伸支撑层为聚酰亚胺层,金属层为金层,纳米颗粒层为修饰有疏水基团的纳米颗粒层;硅片上先真空蒸镀氟硅烷,旋涂聚二甲基硅氧烷加热固化;等离子清洗后旋涂聚酰亚胺固化,溅射金,将修饰疏水基团的纳米颗粒在水面上自组装再转移到金属层上,按照图案刻蚀分离取下。本发明超材料可在多个波段实现可调谐的功能,能利用多波段的优势用于感知生物化学分子;该超材料还具有多尺度的特点,操作简便快速,适合多种检测需求。

基本信息
专利标题 :
一种多波段可调多尺度超材料的制备方法和光谱检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113463020A
申请号 :
CN202110704566.2
公开(公告)日 :
2021-10-01
申请日 :
2021-06-24
授权号 :
CN113463020B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
谢丽娟王英力刘湘江
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
林超
优先权 :
CN202110704566.2
主分类号 :
C23C14/04
IPC分类号 :
C23C14/04  C23C14/12  C23C14/20  C23C14/24  C23C14/34  C23C14/58  G01N21/3586  G01N21/65  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-10-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20210624
2021-10-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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