基板处理用密闭型热处理装置及方法
实质审查的生效
摘要
本发明作为热处理装置，可以包括：热处理炉，用于对基板进行热处理；冷却器，用于对供应到热处理炉内部并排出的处理气体进行冷却；气体提纯器，用于对通过冷却器的处理气体进行提纯；以及，加热器，用于对通过气体提纯器的处理气体进行加热升温之后供应到上述热处理炉。本发明的热处理方法，可以包括：净化步骤、提纯步骤、正常运行步骤以及急净化步骤。
基本信息
专利标题 ：
基板处理用密闭型热处理装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114383418A
申请号 ：
CN202110887653.6
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-08-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许埈诱
申请人 ：
韩华株式会社
申请人地址 ：
韩国首尔特别市
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
金鲜英
优先权 ：
CN202110887653.6
主分类号 ：
F27B17/00
IPC分类号 ：
F27B17/00 F27D17/00 F27D21/00 F27D7/06 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27B 17/00
申请日 : 20210803
申请日 : 20210803
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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