一种晶硅表面制绒添加剂及其生产制备系统

授权

摘要

本发明公开一种晶硅表面制绒添加剂及其生产制备系统，涉及试剂制备设备技术领域，其技术方案要点是：包括混合系统、配比系统和过滤系统，所述过滤系统包括过滤罐，所述过滤罐的内部设置有筒状的过滤芯，所述过滤芯通过上下两端的支撑座固定并封闭，过滤芯的内部设置有输出管，所述输出管的一端伸入过滤芯的内侧，另一端向上伸出过滤罐。本发明能够对制绒剂进行稳定制备处理，提高制备后的试剂的平直，从而提高后续晶硅表面制绒的效果。

基本信息

专利标题：

一种晶硅表面制绒添加剂及其生产制备系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113694582A

申请号：

CN202111016509.1

公开（公告）日：

2021-11-26

申请日：

2021-08-31

授权号：

CN113694582B

授权日：

2022-04-15

发明人：

李一鸣吴冰桑丹义赵晶张震华

申请人：

绍兴拓邦电子科技有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号8幢车间13-1

代理机构：

绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

桑杨

优先权：

CN202111016509.1

主分类号：

B01D29/00

IPC分类号：

B01D29/00 B01F5/04 B01F7/16 B01F13/10 B01F15/00 H01L31/0236 H01L31/042