制造电声换能器的方法
公开
摘要
本发明涉及制造电声换能器(1)的方法，该电声换能器包括：‑框架；‑相对于框架可移动的元件(13)，该可移动元件(13)包括膜片(131)和用于使膜片刚性化的结构(132)；‑第一传输臂(141)，可移动元件(13)耦合到第一传输臂(141)的端部；在该方法中在蚀刻衬底(21)的步骤(S7)期间使用屏蔽(24b)来保护刚性结构(132)，衬底的蚀刻使得能够界定第一传输臂并且减轻可移动元件(13)。本发明的电声换能器能够消除电声换能器的不同体积之间的空气泄露。
基本信息
专利标题 ：
制造电声换能器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114339558A
申请号 ：
CN202111149876.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
洛伊克·乔特
申请人 ：
法国原子能及替代能源委员会
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
中国商标专利事务所有限公司
代理人 ：
桑丽茹
优先权 ：
CN202111149876.9
主分类号 ：
H04R19/02
IPC分类号 ：
H04R19/02 H04R19/04 H04R31/00
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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