预测性维护方法和预测性维护设备
公开
摘要
一种预测性维护方法的示例包括：确定在已经使用配方的衬底处理中测量的模拟数据是否超过对应于配方并且已经预先确定的可允许阈值；以及在在确定中模拟数据超过可允许阈值被确定的情况下，通知用户已经预先与模拟数据相关的有关模块已经劣化。
基本信息
专利标题 ：
预测性维护方法和预测性维护设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114371640A
申请号 ：
CN202111185905.7
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大森拓
申请人 ：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址 ：
荷兰阿尔梅勒
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
焦玉恒
优先权 ：
CN202111185905.7
主分类号 ：
G05B19/042
IPC分类号 ：
G05B19/042
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/04
除数字控制外的程序控制，即顺序控制器或逻辑控制器
G05B19/042
使用数字处理装置
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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