振动器件
实质审查的生效
摘要
振动器件。能够在俯视时实现小型化。振动器件(1)包括：半导体基板(4)，其具有设有集成电路(41)的第1面(4h)以及与第1面(4h)处于正反关系的第2面(4r)；振动元件(5)，其配置在第1面(4h)；盖(3)，其具有在第1面(4h)侧开口的凹部(32)和与第1面(4h)抵接的抵接面(31)，在抵接面(31)处与第1面(4h)接合；以及金属层(6)，其配置在第1面(4h)与抵接面(31)之间，在从第1面(4h)的法线方向俯视时，集成电路(41)的至少一部分与金属层(6)重叠。
基本信息
专利标题 ：
振动器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114389564A
申请号 ：
CN202111215410.4
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
藤井正宽黑泽龙一
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
李庆泽
优先权 ：
CN202111215410.4
主分类号 ：
H03H9/05
IPC分类号 ：
H03H9/05 H03H9/10 H03H9/19
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/05
申请日 : 20211019
申请日 : 20211019
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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