MEMS闭环加速度计及其控制方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种MEMS闭环加速度计及其控制方法，其中，MEMS闭环加速度计包括：MEMS敏感结构，包括质量块、与质量块连接驱动电容以及检测电容；用于将检测电容的电容信号转换为电压信号的检测电路模块；与检测电路模块连接的反馈控制电路模块；检测电容与检测电路模块之间形成电容检测回路，驱动电容、检测电路模块与反馈控制电路模块之间形成电压反馈控制回路；以及用于切换电容检测回路以及电压反馈控制回路的开关控制模块，开关控制模块包括第一固定电容、与电容检测回路和电压反馈控制回路均连接的第一开关以及与第一固定电容和电容检测回路均连接的第二开关。通过上述方式，能够提高驱动电容的大小，增大反馈静电力。
基本信息
专利标题 ：
MEMS闭环加速度计及其控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280330A
申请号 ：
CN202111239154.2
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-10-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郭梅寒张磊
申请人 ：
慧石（上海）测控科技有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼
代理机构 ：
深圳国新南方知识产权代理有限公司
代理人 ：
李小东
优先权 ：
CN202111239154.2
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/08 G01P1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20211025
申请日 : 20211025
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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