一种基于刚度补偿的高性能MEMS闭环加速度计

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摘要

本实用新型公开了一种基于刚度补偿的高性能MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。

基本信息

专利标题：

一种基于刚度补偿的高性能MEMS闭环加速度计

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920437969.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-02

授权号：

CN209460284U

授权日：

2019-10-01

发明人：

雷龙海周骏王龙峰王志山永启

申请人：

四川知微传感技术有限公司

申请人地址：

四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

熊曦

优先权：

CN201920437969.3

主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/125 G01P15/08 B81B7/02 B81B7/00