一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计，包括由上至下按序层叠设置的上方硅帽层、平面结构层及下方硅衬底层，所述平面结构层包括沿Z轴运动的质量块及至少分布在质量块一侧的检测电极，所述质量块与检测电极构成一对平行板电容；在所述质量块同一层结构上设置有不敏感输入加速度的结构，通过结构与两个检测电极分别构成两组应力检测电容，以实现对封装应力的测量；并通过两组应力检测电容构成一对差分电容，其输出的电容差分变化量为ΔCσ，本发明能够大幅提高Z轴MEMS加速度计的温度特性，有效降低了封装应力对器件性能的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114264844A
申请号 ：
CN202111571394.2
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
苏岩
申请人 ：
苏州感测通信息科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区13幢102室
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
周湛湛
优先权 ：
CN202111571394.2
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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