基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计，敏感单元包括质量块、支撑梁和固定梳齿，所述支撑梁的主轴方向角偏离90度，使外力作用下的质量块产生面内偏转，所述固定梳齿的一端通过定齿锚点固定于衬底，所述质量块经支撑梁悬挂于中心锚点，所述中心锚点固定于衬底上，所述质量块包括可动梳齿，所述固定梳齿插设于可动梳齿之间，形成第一梳齿电容和第二梳齿电容，梳齿电容检测质量块面内偏转。该Z轴加速度计的支撑梁的主轴方向角偏离90度，基于支撑梁的刚度耦合原理，使面外加速度作用下的质量块同时产生面内偏转，通过梳齿电容检测该面内偏转完成加速度的检测，具有对称性好、对应力敏感性低、漂移低、非线性小等优点。
基本信息
专利标题 ：
基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021542063.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212483618U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
周铭鞠莉娜黄艳辉凤瑞
申请人 ：
中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区龙山路89号
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范晴
优先权 ：
CN202021542063.7
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
