三轴加速度计
公开
摘要
本申请实施例涉及加速度计技术领域，特别涉及一种三轴加速度计，包括：衬底以及位于衬底上的对称设置的两个第一锚点，衬底上还设有：Z轴检测结构，Z轴检测结构包括：Z轴质量块，Z轴质量块具有一空腔，2个第一锚点沿第一方向对称设置于空腔的相对两侧；位于空腔内的扭转梁，第一锚点和第一方向上的Z轴质量块的侧壁之间通过扭转梁连接，扭转梁与空腔的中线重合，且扭转梁偏离第一方向上的Z轴质量块的中线；位于空腔内的X轴检测结构以及Y轴检测结构。本申请实施例有利于提高三轴加速度计的检测精度。
基本信息
专利标题 ：
三轴加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609413A
申请号 ：
CN202210507499.X
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-05-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄占喜周宁宁黄克刚
申请人 ：
绍兴圆方半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号3号楼2层203、204、206室
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN202210507499.X
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/08 G01P15/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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