传感器元件、惯性传感器和电子设备
授权
摘要
根据本发明技术的一个实施例的一种传感器元件包括基部部分、可移动部分、第一和第二桥接部分、以及加速度检测器单元。所述可移动部分是通过接收沿至少单轴方向的加速度而相对于所述基部部分可移动的。所述第一桥接部分包括第一横梁和第一结构件，所述第一横梁在平行于所述基部部分的主表面的第一轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第一结构件设置于所述第一横梁与所述基部部分之间且支撑所述第一横梁。所述第二桥接部分包括第二横梁和第二结构件，所述第二横梁在正交于所述第一轴且平行于所述主表面的第二轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第二结构件设置于所述第二横梁与所述基部部分之间且支撑所述第二横梁。所述加速度检测器单元设置在所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个上且输出与所述
基本信息
专利标题 ：
传感器元件、惯性传感器和电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109891250A
申请号 ：
CN201780067584.6
公开（公告）日 ：
2019-06-14
申请日 ：
2017-10-03
授权号 ：
CN109891250B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
椛泽秀年加藤祐作三谷谕司
申请人 ：
索尼半导体解决方案公司
申请人地址 ：
日本国神奈川县厚木市朝日町4-14-1
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
付生辉
优先权 ：
CN201780067584.6
主分类号 ：
G01P15/18
IPC分类号 ：
G01P15/18 G01C19/56 G01P15/08 G01P15/09 G01P15/12 G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/18
在二维或更高维空间中
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2019-11-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/18
申请日 : 20171003
申请日 : 20171003
2019-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
