MEMS惯性传感器和电子设备

授权

摘要

本公开的实施例涉及MEMS惯性传感器和电子设备。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦检测量终止，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。

基本信息

专利标题：

MEMS惯性传感器和电子设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021159685.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-19

授权号：

CN212568844U

授权日：

2021-02-19

发明人：

G·加特瑞F·里奇尼A·托齐奥

申请人：

意法半导体股份有限公司

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

董莘

优先权：

CN202021159685.1

主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/125