本发明提出一种微机械结构元件，特别是惯性传感器，包括：振动质量(30)、衬底(20)和罩(40)，其中该结构元件与衬底(20)连接地具有在第一电极层(22)中的参考电极(70)且与罩(40)连接地具有在第二电极层(44)中的另一参考电极(80)，其中振动质量(30)沿垂直于参考电极(70)的主延伸平面的方向(60)在两侧是可偏移的，且其中振动质量(30)沿朝第一电极层(22)的偏移方向具有柔性的止挡(31)，其中振动质量(30)的柔性的止挡(31)借助于弹簧元件(32)与振动质量(30)的主体连接，其中弹簧元件(32)实现在弹性层(33)中，该弹性层设置在一方面振动质量(30)的主体的一层(35)与另一方面第一电极层(22)之间，其中振动质量(30)沿朝第二电极层(44)的偏移方向具有另一柔性的止挡(39)，其中振动质量(30)的另一柔性的止挡(39)借助于设置在振动质量(30)的主体的层(35)中的止挡元件(38)与弹簧元件(32)连接。