MEMS元件以及振动发电器件
实质审查的生效
摘要
MEMS元件具备基座、可动部、弹性部以及固定部，弹性部在与可动部的移动方向交叉的方向上延伸，具有承受可动部的力的中央部和固定于固定部主体的一端及另一端，在中央部与上述一端之间、以及中央部与另一端之间分别具有壁厚比中央部、一端以及另一端薄的薄壁部。
基本信息
专利标题 ：
MEMS元件以及振动发电器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114514190A
申请号 ：
CN202080070448.4
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
芦泽久幸下村典子
申请人 ：
株式会社鹭宫制作所
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
金成哲
优先权 ：
CN202080070448.4
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 B81B7/02 H02N1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 3/00
申请日 : 20201009
申请日 : 20201009
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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