基于对称驱动的MEMS电容型传感器的馈通电容提取方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于对称驱动的MEMS电容型传感器的馈通电容提取方法，所述方法包括：获取无偏压条件下的传感单元的初始电容值；对第一定极板的第一传感电极施压预设第一偏压，并获取传感单元的第一电容值；对第二定极板的第二传感电极施压预设第二偏压，并获取传感单元的第二电容值；基于初始电容值、第一电容值、第二电容值，计算得到通馈电容值。本发明能够精确地提取馈通电容值大小。
基本信息
专利标题 ：
基于对称驱动的MEMS电容型传感器的馈通电容提取方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114414848A
申请号 ：
CN202111455857.9
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钟龙杰商鹏鹏刘术彬朱樟明梁宇华沈易
申请人 ：
西安电子科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区太白南路2号
代理机构 ：
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王萌
优先权 ：
CN202111455857.9
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20211201
申请日 : 20211201
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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