本发明公开了一种MEMS三轴加速度计，包括可沿彼此垂直的三个方向运动的可动结构以及用于固定可动结构的中心锚点；可动结构包括第一质量块、第二质量块以及第三质量块，第二质量块通过第一弹性结构与第一质量块连接并且通过第二弹性结构与中心锚点连接，第三质量块通过弹性枢转结构与第一质量块连接；第一质量块能够沿第一方向进行直线运动，以完成第一方向上的加速度检测；第二质量块能够沿第二方向进行直线运动，以完成第二方向上的加速度检测；第三质量块能够在第三方向上转动，以完成第三方向上的加速度检测，本发明中的MEMS三轴加速度计每一个质量块的运动直线相互独立，从而能够在加速度检测时，互不干扰，并由此具有更高的检测精度。