用于平面内加速度计的锚跟踪设备和相关方法
授权
摘要
描述微机电系统(MEMS)加速度计。MEMS加速度计可以包括检查质量块，其被配置为感测平行于检查质量块的平面的方向上的加速度，以及多个补偿结构。检验质量块可以通过弹簧连接到一个或多个锚。补偿结构可以通过与各个锚的刚性地连接耦合到MEMS加速度计的基板。补偿结构可包括形成一个或多个横向补偿电容器的至少一个补偿电极。补偿电容器可以被配置为感测补偿结构连接的锚的位移。
基本信息
专利标题 ：
用于平面内加速度计的锚跟踪设备和相关方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109477856A
申请号 ：
CN201780044705.5
公开（公告）日 ：
2019-03-15
申请日 ：
2017-07-31
授权号 ：
CN109477856B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
张欣W·A·克拉克M·朱蒂
申请人 ：
美国亚德诺半导体公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
刘倜
优先权 ：
CN201780044705.5
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/18
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2019-04-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20170731
申请日 : 20170731
2019-03-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN109477856A.PDF
PDF下载
