三轴加速度计

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种三轴加速度计，其包括：基板；固定设置于所述基板上的锚块；固定设置于基板上的第一X轴电极、第二X轴电极、第一Y轴电极、第二Y轴电极、第一Z轴电极和第二Z轴电极；悬置于所述基板上方的框架，其包括相对设置的第一梁柱和第二梁柱，第一梁柱形成第三Z轴电极，第二梁柱形成第四Z轴电极；悬置于所述基板上方的质量块，所述质量块上形成有第三X轴电极和第三Y轴电极；和弹性连接组件，被配置的弹性连接于所述锚块、所述连接梁以及所述质量块上。本实用新型的三轴加速度计只需要一个质量块，就可以实现三个轴的高精度加速度检测，尤其是可以对Z轴提供全差分检测信号，大大的提高了检测精度。

基本信息

专利标题：

三轴加速度计

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921860039.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-31

授权号：

CN211206555U

授权日：

2020-08-07

发明人：

蒋乐跃赵阳

申请人：

美新半导体（无锡）有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号

代理机构：

苏州简理知识产权代理有限公司

代理人：

朱亦倩

优先权：

CN201921860039.5

主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/125 G01P15/18