微机电系统加速度计
公开
摘要
本发明提供了一种微机电系统加速度计，包括：检验质量、至少一对相对设置的跷跷板结构、以及面外位移检测组件，所述面外位移检测组件用于检测所述跷跷板结构的转动或者所述检验质量的面外线性运动；其中，每两个相对设置的所述跷跷板结构之间通过第一耦合结构在第一侧进行耦合连接，该两个通过第一耦合结构耦合连接的跷跷板结构的第二侧通过第二耦合结构连接到所述检验质量，所述第一耦合结构、第二耦合结构均为弹性耦合结构。本发明有利于提高电容位移检测的线性度，并有利于其它非电容的检测方式，同时，采用双耦合结构，抑制了跷跷板结构的其余平动和转动模态。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114487480A
申请号 ：
CN202210040635.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
严世涛占瞻杨珊马昭阚枭彭宏韬李杨陈秋玉洪燕黎家健
申请人 ：
瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼
代理机构 ：
深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘伟
优先权 ：
CN202210040635.9
主分类号 ：
G01P15/08
IPC分类号 ：
G01P15/08 G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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