用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构
实质审查的生效
摘要
描述了倾斜z轴平面外感测微机电系统加速度计和相关结构和配置的示例性实施例。所披露的实施例有助于改善偏移稳定性。非限制性实施例提供示例性微机电系统结构和设备，其特征在于一个或多个具有关于与弹簧或弹性耦合轴正交的轴对称的感测微机电系统结构、与电极图案的其中一个对称轴对齐的弹簧或弹性耦合轴、不同数量的参考电极和感测电极、具有至少两个对称轴(其中一个沿着弹簧或弹性耦合的轴)的参考微机电系统结构和/或在弹簧或弹性耦合轴下方的参考结构。
基本信息
专利标题 ：
用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114391103A
申请号 ：
CN202080063845.9
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·拉吉M·J·汤普森L·科罗纳托R·马提尼
申请人 ：
因文森斯公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京戈程知识产权代理有限公司
代理人 ：
程伟
优先权 ：
CN202080063845.9
主分类号 ：
G01P21/00
IPC分类号 ：
G01P21/00 G01P15/125 B81B7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P21/00
包含在本小类其他组中的仪表或装置的测试或校准
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 21/00
申请日 : 20200820
申请日 : 20200820
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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