滤波器电路
公开
摘要
本发明涉及一种滤波器电路。滤波器电路设置于使用等离子体进行处理的等离子体处理装置，该等离子体是使用4MHz以上的第一频率的电力和100Hz以上且小于4MHz的第二频率的电力来生成的，该滤波器电路具备第一滤波器部和第二滤波器部。第一滤波器部设置于等离子体处理装置内的导电构件与用于向导电构件供给小于100Hz的第三频率的电力或直流电力的电力供给部之间的布线。第二滤波器部设置于第一滤波器部与电力供给部之间的布线。第一滤波器部具有与串联地连接于布线的第一线圈、以及连接于布线与地之间的串联谐振电路。第二滤波器部具有串联地连接于第一线圈与电力供给部之间的布线的第二线圈。
基本信息
专利标题 ：
滤波器电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114449722A
申请号 ：
CN202111280919.7
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
山泽阳平
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111280919.7
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24 H03H7/01 H01J37/32
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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