检测装置、处理系统和输送方法
公开
摘要
本发明提供无需设置定位装置就能够对输送对象物进行定位的检测装置、处理系统和输送方法。本发明的一个方式的检测装置是检测输送对象物相对于输送机构的位置偏移的检测装置，其包括：图像传感器，其获取包含上述输送机构和由该输送机构保持的上述输送对象物的图像；和运算部，其基于由上述图像传感器获取的上述图像，计算上述输送对象物的包含水平方向和旋转方向上的位置偏移量在内的位置偏移量。
基本信息
专利标题 ：
检测装置、处理系统和输送方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496870A
申请号 ：
CN202111288079.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
网仓纪彦北正知
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN202111288079.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/68 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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