微机械传感器元件
公开
摘要
一种微机械传感器元件(1，1′)，其具有衬底、第一可运动地布置在衬底上的结构(5)、第二可运动地布置在衬底上的结构(6)和固定地布置在衬底上的电极布置(15)，电极布置具有至少一个第一电极(31)。可运动地布置的结构(5，6)通过至少一个耦合元件(9)如此彼此耦合，使得在第一可运动地布置的结构沿着第一方向(2)偏移的情况下，第二可运动地布置的结构经历沿着反方向的偏移。第一电极具有多个电极面(19)。可运动地布置的结构分别具有多个可运动的电极面(20，30)。固定于衬底的电极面和可运动的电极面彼此接合。可运动的电极面分别布置在固定于衬底的电极布置的电极面的与可运动地布置的结构背离的侧(35)上。
基本信息
专利标题 ：
微机械传感器元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114455534A
申请号 ：
CN202111317900.5
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·赖因穆特
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭毅
优先权 ：
CN202111317900.5
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 G01P3/44 G01P15/125
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
