测试真空系统漏气的方法、装置、电子设备及存储介质
实质审查的生效
摘要

本申请属于真空系统密封性测试技术领域,本申请提供了一种测试真空系统漏气的方法、装置、电子设备及存储介质。该方法用于对真空系统是否漏气进行测试,方法包括以下步骤:获取真空系统放入工件后,从开始抽气至达到预定压力所需的时间,并记录为第一时间;根据第一时间与预设时间判断真空系统是否漏气;其中,预设时间为真空系统放入工件前,从开始抽气至达到预定压力所需的时间。本申请可以对真空系统是否漏气进行测试,当真空系统漏气时,及时提醒使用者进行维护,避免真空系统漏气影响制备出的工件的质量,从而提高良品率。

基本信息
专利标题 :
测试真空系统漏气的方法、装置、电子设备及存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264429A
申请号 :
CN202111328529.2
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-11-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张晓军陈志强方安安姜鹭杨洪生邵寿潜柯常
申请人 :
深圳市矩阵多元科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼
代理机构 :
佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈志超
优先权 :
CN202111328529.2
主分类号 :
G01M3/26
IPC分类号 :
G01M3/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率,例如,用压力响应装置,用流量计
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/26
申请日 : 20211110
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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