本发明公开了一种基于复合切削的超精密加工方法，该基于复合切削的超精密加工方法采用如下基于复合切削的超精密加工装置，该基于复合切削的超精密加工装置包括基座，所述基座的上端分别固定连接有第一安装板和第二安装板，所述第一安装板的左侧安装有固定机构，所述第二安装板的右侧设有安装槽，所述第二安装板的右侧设有加工块。该装置能够选用不同的刀具进行加工，在加工过程中，激光测温仪能够实时监测对应刀具加工时的温度，在温度较高的时候通过喷头喷出水流对刀具进行降温，当温度无法被控制并继续升高时，制冷器开始工作，提高装置的降温效果，刀具在不同的工作强度上使用不同的降温手段，有效的降低了能源的浪费。