具有集成机械光学调制器的辐射传感器及相关制造工艺
公开
摘要
本公开的实施例涉及具有集成机械光调制器光学调制器的辐射传感器及相关制造工艺。一种辐射传感器，包括检测组件和斩波器组件，检测组件和斩波器组件机械地耦接以界定主腔；并且其中，斩波器组件包括：在主腔中延伸的悬置可移动结构；以及致动结构，致动结构电可控制以引起悬置可移动结构的位置变化。检测单元包括检测结构，检测结构面向主腔并且包括多个检测设备。悬置可移动结构包括导电材料制成的第一屏蔽件，第一屏蔽件屏蔽检测设备使其免受辐射，检测设备的屏蔽是悬置可移动结构的位置而变化。
基本信息
专利标题 ：
具有集成机械光学调制器的辐射传感器及相关制造工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114593825A
申请号 ：
CN202111385981.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·韦亚纳E·杜奇M·E·卡斯塔尼亚
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
黄海鸣
优先权 ：
CN202111385981.2
主分类号 ：
G01J5/02
IPC分类号 ：
G01J5/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J5/00
辐射高温测定法
G01J5/02
零部件
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
