光酸产生剂
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种新型光酸产生剂化合物阳离子，其包含元素，所述元素对于92eV光子(极紫外(EUV))具有至少0.5×107·cm2/mol的吸收截面；具有至少两种稳定的氧化态；并且选自元素周期表的第1族至第15族的元素。另外，本发明涉及包含所述光酸产生剂化合物阳离子和阴离子的光酸产生剂。此外，本发明旨在提供一种包含所述光酸产生剂和酸不稳定聚合物的光致抗蚀剂组合物。最后，本发明涉及使用光致抗蚀剂组合物产生酸的方法和在基材上形成图案化材料特征的方法。
基本信息
专利标题 ：
光酸产生剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114524840A
申请号 ：
CN202111387926.7
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·I·梅杰V·韦伯P·W·J·斯塔尔
申请人 ：
国际商业机器公司
申请人地址 ：
美国纽约
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
徐国栋
优先权 ：
CN202111387926.7
主分类号 ：
C07F7/22
IPC分类号 ：
C07F7/22 C07F9/92 C07F9/94 C07C309/25 C07C309/30 C07C309/06 C07F5/02 C07D285/15 G03F7/004
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F7/00
含周期表第4或14族元素的化合物
C07F7/22
锡化合物
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C07F 7/22
申请日 : 20211122
申请日 : 20211122
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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