极紫外光产生方法和系统
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种极紫外光产生方法和系统。该方法包括：液滴靶生成装置在真空环境中生成液滴靶；多组固体激光光源装置基于对应的脉冲延迟时间，交替产生激光脉冲，形成重复频率与液滴靶的重复频率匹配的打靶激光；打靶激光在预设打靶位置轰击液滴靶，产生极紫外光。采用上述方法，可以确保打靶激光同时具备脉冲能量大且重复频率高的要求，有利于提高液滴靶烧蚀过程中产生的极紫外辐射能量，提升极紫外光的功率。
基本信息
专利标题 ：
极紫外光产生方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114355735A
申请号 ：
CN202210064402.2
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马修泉王力波吴寒陆培祥
申请人 ：
广东省智能机器人研究院
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
邓丹
优先权 ：
CN202210064402.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
