紫外光产生用靶及其制造方法以及电子束激发紫外光源
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摘要

一种紫外光产生用靶(11),包括:透过紫外光的基板(12);以及设置在基板(12)上的接受电子束而发出紫外光的发光层(13),发光层(13)为由掺杂有Sc的Al2O3形成的非晶质层。

基本信息
专利标题 :
紫外光产生用靶及其制造方法以及电子束激发紫外光源
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108257848A
申请号 :
CN201711448198.X
公开(公告)日 :
2018-07-06
申请日 :
2017-12-27
授权号 :
CN108257848B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
池田光平市川典男
申请人 :
浜松光子学株式会社
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN201711448198.X
主分类号 :
H01J63/04
IPC分类号 :
H01J63/04  H01J63/06  H01J63/02  H01J9/22  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J63/00
阴极射线灯或电子注灯
H01J63/02
零部件,如电极、填充气体、管壳形状
H01J63/04
带有发光涂层的管壳;涂层材料的选择
法律状态
2022-05-13 :
授权
2020-01-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 63/04
申请日 : 20171227
2018-07-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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