一种高功率波长可调的极紫外光源的产生装置及方法

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摘要

本发明涉及一种高功率波长可调的极紫外光源的产生装置及方法，属于半导体光刻技术领域，解决了现有技术中产生的极紫外光功率及波长不可调，限制了光刻的分辨率的问题。该装置包括环形加速器，用于对电子束进行加速并使所述电子束在所述环形加速器中做圆周运动；光存储器，用于存储激光脉冲；环形加速器与光存储器相通，环形加速器与光存储器的内部均为真空，相通的部分为激光电子对撞区；在激光电子对撞区内，电子束与激光脉冲对撞发生散射作用产生极紫外光脉冲并经由光存储器出射。本发明通过该装置实现电子束与激光脉冲对撞产生极紫外光，并通过调整电子束的能量及激光脉冲的频率可以实现产生不同波长不同功率的极紫外光。

基本信息

专利标题：

一种高功率波长可调的极紫外光源的产生装置及方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111741580A

申请号：

CN202010712239.7

公开（公告）日：

2020-10-02

申请日：

2020-07-22

授权号：

CN111741580B

授权日：

2022-05-17

发明人：

黄永盛

申请人：

中国科学院高能物理研究所

申请人地址：

北京市石景山区玉泉路19号乙

代理机构：

北京天达知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张通

优先权：

CN202010712239.7

主分类号：

H05G2/00

IPC分类号：

H05G2/00 G03F7/20