一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置
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摘要
本实用新型公开了一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置。本实用新型由混频系统、激光系统以及检测系统所组成。混频系统主要包括可调式混频池、固定式混频池以及配气系统。激光系统主要包括泵浦源、第一染料激光器以及第二染料激光器。检测系统主要包括真空腔体、真空泵、光源探测器以及观察窗。本实用新型将激光系统产生的两束基频光以小角度斜入射至混频系统中的聚焦透镜的边缘，四波混频产生的真空紫外光及残留的基频光因在同一介质中的折射率不同而以不同角度从聚焦透镜中出射，从而将真空紫外光与基频光进行分离，本实用新型在保证真空紫外光源单色性的同时，因无需增加额外的光学元件而使真空紫外光源的能量损耗降至最小。
基本信息
专利标题 ：
一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021335700.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-09
授权号 ：
CN212210000U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
俞盛锐李万涛凌彩宁杨文绍简继文
申请人 ：
浙江师范大学
申请人地址 ：
浙江省金华市婺城区迎宾大道688号
代理机构 ：
杭州奥创知识产权代理有限公司
代理人 ：
王佳健
优先权 ：
CN202021335700.3
主分类号 ：
H01S3/101
IPC分类号 ：
H01S3/101 H01S3/213 H01S3/00
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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