一种真空紫外光源结构
公开
摘要
本发明公开了一种真空紫外光源结构，包括锥形灯管、气瓶、气体流通管路、激励源、放大器、线圈(4)、屏蔽层(5)、通光窗片(2)和法兰(6)。通过锥形灯管的分区结构设计，实现在保证放电气压的前提下降低灯管末端气压，以减弱气体原子的自吸收效应，通过气体流通的设计，在锥形灯管中形成从高压至低压的压力梯度，有利于减弱气体原子的自吸收效应，提高输出的真空紫外光子数，还能及时带走放电区产生的污染物，避免污染物在通光窗片上的沉积，提高光源寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空紫外光源结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582705A
申请号 ：
CN202210102617.9
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯高平洪延姬梁健玮饶伟宋俊玲王殿恺叶继飞文明
申请人 ：
中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请人地址 ：
北京市怀柔区八一路1号
代理机构 ：
北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王洪波
优先权 ：
CN202210102617.9
主分类号 ：
H01J61/33
IPC分类号 ：
H01J61/33 H01J61/24 H01J61/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J61/00
气体放电或蒸气放电灯
H01J61/02
零部件
H01J61/30
管壳；容器
H01J61/33
特殊截面形状的，如用于产生冷光点的
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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