一种真空紫外光源
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种真空紫外光源，属于激光与原子相互作用技术领域，该光源包括放电激发系统、气瓶、气体流动控制系统、通光窗片(3)、法兰(4)以及激光器，激光器提供的激光将放电激发产生的亚稳态工作气体原子激发到高能级，高能级气体原子向低能级跃迁时放出真空紫外光子，提高真空紫外光输出。该光源能够解决目前气体放电灯主要存在的输出光子数不高的问题，提高真空紫外光亮度。
基本信息
专利标题 ：
一种真空紫外光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551216A
申请号 ：
CN202210102678.5
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯高平洪延姬梁健玮饶伟宋俊玲王殿恺叶继飞文明
申请人 ：
中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请人地址 ：
北京市怀柔区八一路1号
代理机构 ：
北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王洪波
优先权 ：
CN202210102678.5
主分类号 ：
H01J61/54
IPC分类号 ：
H01J61/54 H01J61/16
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J61/00
气体放电或蒸气放电灯
H01J61/02
零部件
H01J61/54
引燃装置，如为起动而激发电离的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 61/54
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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