紫外光光源装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种紫外光光源装置，其适于作为一曝光机的光源。此紫外光光源装置包括一线路板以及多个紫外光发光二极管。这些紫外光发光二极管是以数组排列方式排列于线路板的一表面上，其中每个紫外光发光二极管是经由表面组装技术与线路板电性连接。此紫外光光源装置可以输出符合曝光制程的波长范围需求及高强度的光线。

基本信息

专利标题：

紫外光光源装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101017330A

申请号：

CN200610006803.3

公开（公告）日：

2007-08-15

申请日：

2006-02-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

张宏麒李少谦

申请人：

欣兴电子股份有限公司

申请人地址：

台湾省桃园县桃园市

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周长兴

优先权：

CN200610006803.3

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2010-11-24 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101043679562
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利申请号 : 2006100068033
公开日 : 20070815

2009-04-08 ：

实质审查的生效

2007-08-15 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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