一种高性能真空紫外光电探测器

授权

摘要

本实用新型公开了一种高性能真空紫外光电探测器，该真空紫外光电探测器包括氮化镓基板层、氮化铝真空紫外吸收层、石墨烯透明电极层、银电极及光电流检测装置；氮化镓基板层上部分外延生长氮化铝真空紫外吸收层，石墨烯透明电极层部分覆盖于氮化铝真空紫外吸收层上，银电极设置于氮化铝真空紫外吸收层上，且与石墨烯透明电极层间隔设置，石墨烯透明电极层与银电极分别通过导线与光电流检测装置电性连接。该器件具有高真空紫外光响应，高外部量子效率和极快的温度响应，能够有效抑制噪声电压密度，可以用于天体活动中超快动态过程的图像的捕捉。

基本信息

专利标题：

一种高性能真空紫外光电探测器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920657598.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-08

授权号：

CN209626234U

授权日：

2019-11-12

发明人：

徐俊虎陈彦招生民

申请人：

北京蓝木科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区亦庄经济开发区上海沙龙4-1-502

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920657598.X

主分类号：

H01L31/028

IPC分类号：

H01L31/028 H01L31/0224