一种基于SAW的紫外光电探测器
公开
摘要
本发明提供一种基于SAW的紫外光电探测器，第一Al0.25Ga0.75N层顶端设有第一叉指换能器；第二Al0.25Ga0.75N层顶端设有第二叉指换能器；第三Al0.25Ga0.75N层上方设有二维电子气层，二维电子气层上方设有Al0.5Ga0.5N层，Al0.5Ga0.5N层上方设有p型掺杂GaN层；Al0.5Ga0.5N层一端连接漏极，漏极外接漏电压，Al0.5Ga0.5N层另一端连接源极，源极接地。本发明对光功率密度为0.2 mW/cm2的紫外光的光探测灵敏度高达7.37（ppmmw/cm2）‑1，增益高达9450 dB/mm，解决目前紫外光电探测器低光灵敏度、低增益的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种基于SAW的紫外光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613802A
申请号 ：
CN202210099617.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
葛凡张玉宋敏航陶志阔
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区文苑路9号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202210099617.8
主分类号 ：
H01L27/20
IPC分类号 ：
H01L27/20 H01L31/112
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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