氧化镓基日盲紫外光电探测器
公开
摘要
本发明涉及一种氧化镓基日盲紫外光电探测器，包括依次层叠设置的第一电极层、铁电层、氧化镓层和第二电极层，其中，第一电极层与铁电层形成欧姆接触。本发明中，铁电层自发极化形成的局域场能够用于耗尽氧化镓层的内部缺陷，调控氧化镓层的能带结构及界面耗尽区宽度，而存在于氧化镓层中的光生电子空穴对在耗尽区及外电场的作用下会被加速，由此提高了氧化镓基日盲紫外光电探测器光生载流子的浓度和分离效率，同时，铁电层的剩余极化能够调控氧化镓层的内部及界面缺陷的分布。因此，本发明的氧化镓基日盲紫外光电探测器的暗电流低、光暗电流比高，进而使得氧化镓基日盲紫外光电探测器具有低功耗性、高可靠性和高灵敏性等特点。
基本信息
专利标题 ：
氧化镓基日盲紫外光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361286A
申请号 ：
CN202111404576.0
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘宁涛张文瑞叶继春
申请人 ：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 ：
杭州华进联浙知识产权代理有限公司
代理人 ：
何凯歌
优先权 ：
CN202111404576.0
主分类号 ：
H01L31/108
IPC分类号 ：
H01L31/108 H01L31/0224 H01L31/032
法律状态
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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