一种紫外光探测器
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种紫外光探测器，包括衬底，衬底具有空腔；压电层，压电层位于衬底的一侧，并覆盖空腔；位于压电层第一面上的顶电极、以及位于压电层第二面上的底电极，第一面和第二面相对，第二面为靠近衬底的一面，顶电极为叉指电极；实现对紫外光基于兰姆波谐振器的高灵敏度和低功耗探测。
基本信息
专利标题 ：
一种紫外光探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922227682.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-12
授权号 ：
CN211879398U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
于洪宇张一唐楚滢汪青
申请人 ：
南方科技大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201922227682.0
主分类号 ：
H01L31/09
IPC分类号 ：
H01L31/09 H01L31/0224 G01V8/10
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法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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