高温条件下制备具有可调控褶皱结构柔性薄膜的方法及其应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种高温条件下制备具有可调控褶皱结构柔性薄膜的方法，包括以下步骤：S1.将云母衬底进行机械解离，解离出新表面后用银胶将云母衬底背面粘贴在高温样品托表面，并放置在加热台上烘干；S2.将烘干后的高温样品托送入磁控溅射腔体中，磁控溅射云母衬底并生长出薄膜；S3.通过拉伸模具将柔性衬底进行预拉伸；S4.将生长有薄膜一面的云母衬底贴合在预拉伸的柔性衬底上，烘干后进行机械剥离，控制拉伸模具释放预拉伸，得到褶皱结构柔性薄膜，与现有技术相比，本发明的薄膜柔性化方法适用于在高温下生长和褶皱结构可调控柔性薄膜的制备；本发明还提供了一种具有可调控褶皱结构柔性薄膜在电子领域中的应用。
基本信息
专利标题 ：
高温条件下制备具有可调控褶皱结构柔性薄膜的方法及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351090A
申请号 ：
CN202111391287.1
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢亚丽黄凯李润伟杨华礼
申请人 ：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区中官西路1219号
代理机构 ：
宁波甬致专利代理有限公司
代理人 ：
李魏
优先权 ：
CN202111391287.1
主分类号 ：
C23C14/18
IPC分类号 ：
C23C14/18 C23C14/35 C23C14/54 C23C14/58
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/18
在其他无机物基体上
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/18
申请日 : 20211123
申请日 : 20211123
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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